據(jù)“中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)”公眾號消息,中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感器技術(shù)全國重點實驗室在集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡研制方面取得重要進展。制備的MEMS快反鏡鏡面尺寸大,封裝體積小,并具備良好的線性度、角分辨率、響應(yīng)速度、重復(fù)定位精度和鏡面動態(tài)形變,同時集成了高靈敏度角度傳感器,能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的激光光束閉環(huán)控制,在激光衛(wèi)星通信方面具有巨大的應(yīng)用潛力。
轉(zhuǎn)載請注明出處。