硬氪獲悉，高端工業(yè)激光裝備制造商——中微精儀科技（深圳）有限公司（下稱“中微精儀”）近日完成數(shù)千元天使輪融資。本輪融資由東方富海獨(dú)家投資，華君資本擔(dān)任長(zhǎng)期獨(dú)家戰(zhàn)略財(cái)務(wù)顧問(wèn)。融資資金將主要用于研發(fā)投入和團(tuán)隊(duì)建設(shè)。

中微精儀成立于2024年11月，但其技術(shù)積累可追溯至2022年。公司專注于激光超精密加工領(lǐng)域，核心業(yè)務(wù)涵蓋碳化硅晶錠激光剝離、金剛石激光剝離、水導(dǎo)激光精密加工等高端工業(yè)激光裝備的研發(fā)與制造。

從團(tuán)隊(duì)背景來(lái)看，中微精儀創(chuàng)始人陳景煜為澳大利亞新南威爾士大學(xué)研究員，長(zhǎng)期從事特種芯片集成開(kāi)發(fā)；首席科學(xué)家孫洪波為中國(guó)科學(xué)院院士、清華大學(xué)教授，是“非線性激光超精密制造”領(lǐng)域的先驅(qū)，整個(gè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)由清華大學(xué)+北京理工大學(xué)+吉林大學(xué)等博士團(tuán)隊(duì)組成。

與多數(shù)激光設(shè)備廠商從工程測(cè)試入手的路徑不同，中微精儀選擇從激光與材料相互作用的物理原理層面切入。

“我們非常了解激光與材料在能量吸收時(shí)會(huì)產(chǎn)生什么反應(yīng)，這是解決問(wèn)題的根本，我們?cè)敢鈴淖畹讓釉硌芯砍霭l(fā)，解決最難的產(chǎn)業(yè)問(wèn)題，打造最高端的裝備制造?！标惥办细嬖V硬氪。

以碳化硅晶錠剝離為例，公司自主研發(fā)的脈沖可編程技術(shù)，能夠先將激光精準(zhǔn)聚焦至晶錠內(nèi)部進(jìn)行改質(zhì)（破壞晶格鍵而不產(chǎn)生裂紋），再通過(guò)另一套激光工藝引導(dǎo)裂紋定向延伸。這種分步控制的技術(shù)路徑，使得切割損耗大幅降低。

從市場(chǎng)需求來(lái)看，碳化硅晶錠剝離設(shè)備的采購(gòu)需求正隨8英寸產(chǎn)線的布局而逐步釋放。

陳景煜向硬氪解釋，當(dāng)前6英寸碳化硅襯底因價(jià)格戰(zhàn)已利潤(rùn)微薄，廠家更新設(shè)備的動(dòng)力不足。但8英寸產(chǎn)線從2026年起將進(jìn)入建設(shè)高峰，晶錠剝離設(shè)備的采購(gòu)需求隨之而來(lái)。

“2026年之前，國(guó)內(nèi)廠家基本都處于測(cè)試階段，因?yàn)樗麄兊?英寸產(chǎn)線還沒(méi)真正建起來(lái)?！标惥办戏Q。

據(jù)公司提供的數(shù)據(jù)，在8英寸碳化硅晶錠剝離中，「中微精儀」的設(shè)備可將損耗控制在80微米以內(nèi)，而傳統(tǒng)線切割損耗在250微米左右，其他激光設(shè)備普遍也在120微米以上。這意味著，以20毫米厚的晶錠為例，采用公司的技術(shù)可產(chǎn)出40-46片350微米厚的晶圓。

在更前沿的金剛石切割領(lǐng)域，由于金剛石硬度極高，傳統(tǒng)線切割幾乎無(wú)法實(shí)現(xiàn)有效加工。公司采用激光剝離技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了單晶和多晶金剛石的高速剝離，是國(guó)內(nèi)最早突破大尺寸（30mm*30mm）金剛石切割的團(tuán)隊(duì)之一。

此外，中微精儀在水導(dǎo)激光方向也形成了自主技術(shù)布局。水導(dǎo)激光技術(shù)最早由瑞士公司開(kāi)發(fā)，適用于對(duì)熱損傷敏感的材料加工。公司是國(guó)內(nèi)唯一實(shí)現(xiàn)從噴嘴、光學(xué)元件到水泵三大核心模組自主開(kāi)發(fā)的團(tuán)隊(duì)，切割精度可達(dá)±5微米。

盡管成立時(shí)間不長(zhǎng)，中微精儀已率先實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)激光設(shè)備的出海。2025年3月，公司首臺(tái)設(shè)備出廠測(cè)試，在客戶現(xiàn)場(chǎng)展示效果后便直接獲得訂單。截至目前，公司已向海外客戶實(shí)現(xiàn)數(shù)臺(tái)銷售，另有數(shù)臺(tái)套設(shè)備正在外部測(cè)試中。

進(jìn)入2026年，隨著8英寸碳化硅產(chǎn)線逐步啟動(dòng)建設(shè)，晶錠剝離設(shè)備的需求正加速釋放。中微精儀預(yù)計(jì)今年僅碳化硅晶錠剝離設(shè)備就實(shí)現(xiàn)批量銷售，業(yè)績(jī)實(shí)現(xiàn)規(guī)?；鲩L(zhǎng)，研發(fā)實(shí)現(xiàn)全球代式領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，銷售牢牢占據(jù)第一梯隊(duì)優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)能方面，公司目前產(chǎn)能能滿足市場(chǎng)客戶需求，并且已預(yù)留擴(kuò)產(chǎn)空間以應(yīng)對(duì)后續(xù)訂單增長(zhǎng)。

投資方觀點(diǎn)：

東方富海表示：新型的超快冷激光切割技術(shù)可以有效解決SiC襯底切割的難點(diǎn)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)切割速度快、切割損耗小、切割表面質(zhì)量?jī)?yōu)的效果。目前全球SiC襯底處于高速擴(kuò)產(chǎn)和6寸向8寸邁進(jìn)的產(chǎn)業(yè)周期，傳統(tǒng)的切割方式難以滿足產(chǎn)業(yè)的要求，因此下游客戶對(duì)于激光切割有著迫切需求?，F(xiàn)階段掌握高精尖激光裝備制造公司稀有，產(chǎn)能嚴(yán)重不足，高度存在被“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。中微精儀是我們目前看到的國(guó)際化的創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)，技術(shù)團(tuán)隊(duì)擁有國(guó)際頂尖的研發(fā)能力，團(tuán)隊(duì)掌握超快冷激光切割設(shè)備最核心的光路調(diào)控技術(shù)，從機(jī)理探索-工藝開(kāi)發(fā)-光學(xué)優(yōu)化-系統(tǒng)設(shè)計(jì)具備完全自主可控的能力，未來(lái)的發(fā)展非常值得期待。