激光調阻機是一種精密的激光微調設備,它通過短脈沖激光掃描,改變電阻體的導電截面積,達到把低于目標阻值的電阻體修調到阻值允許的偏差范圍內(nèi),適用于片狀電阻的快速大規(guī)模生產(chǎn)。它的主要構成為:一臺輸出脈沖頻率可調的調Q脈沖Nd:YAG激光器, 輸出波長為1.06μm激光,經(jīng)兩軸偏轉后,由光學系統(tǒng)匯聚成25μm直徑的光斑,照射到載臺上的片式電阻基片上。基片電阻漿料層受激光加熱氣化,形成一定深度的刻痕,從而改變了電阻體的導電截面積和導電長度。
高速高精度在線電阻測量系統(tǒng),測量電阻器的阻值,當阻值達到標稱值時,由電控開關關斷激光,完成此片式電阻的修整過程,全過程用時5-20ms。由一臺X-Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調。然后,運動控制系統(tǒng)驅動載片臺向前運動一個行距的位置,重復上述過程完成第二行調阻,依此類推,直至調完一片。所有上述工作在一臺計算機統(tǒng)一控制下,協(xié)調高效地進行。
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