芯片是智能制造的“大腦”。如何保證其正常運轉？產(chǎn)前“體檢”必不可少。半導體檢測設備作為芯片生產(chǎn)過程中的重要工具，就猶如芯片的“體檢醫(yī)生”，在芯片生產(chǎn)階段，會對產(chǎn)品的技術參數(shù)逐一檢查，只有成功通過測試的產(chǎn)品型號方可量產(chǎn)。

矽電半導體設備（深圳）股份有限公司作為我國最早研發(fā)、規(guī)模最大的探針臺生產(chǎn)企業(yè)，多年來始終堅持自主創(chuàng)新，致力于推動高精密半導體設備國產(chǎn)化，如今已研發(fā)出一系列達到國際前沿技術標準的全自動測試探針臺，多項核心技術填補了國內相關領域技術空白，并已發(fā)展成為能與國際同業(yè)競爭的企業(yè)。

矽電公司總經(jīng)理王勝利介紹，矽電公司自2003年成立以來就以晶圓片探針臺為著力點，在晶圓片半自動探針測試臺項目研發(fā)上率先突破技術關鍵環(huán)節(jié)，并實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。

走進矽電公司研發(fā)部門，研發(fā)人員正忙于測試各類芯片技術指標及調試檢測設備。王勝利告訴記者：“我們的核心技術是探針測試技術，簡單來說是一種測試方法。晶圓片單一晶粒的尺寸都非常小，其測量接觸面直徑一般只有50微米，相當于頭發(fā)絲斷面的三分之二大小，測試都必須在顯微鏡下完成。在電路測試中我們一方面要通過檢測設備給電路輸送信號，另一方面要把信號接出來。這就需要探針精準對接每一個測量觸點?！?/p>

王勝利告訴記者，探針臺負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。它可以將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，便于在后道工序之前及時將其剔除，這樣就有效地提高了后道生產(chǎn)的成品率，降低了器件的制造成本。探針臺屬于半導體設備領域的高精尖設備，是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心專用設備，行業(yè)技術壁壘較高，在設備的精度、可靠性、視覺智能多系統(tǒng)擬合、測試工藝方面均有非常嚴苛的要求，是對生產(chǎn)廠商在工藝、技術、生產(chǎn)流程等方面的綜合考驗。

推進探針臺設備實現(xiàn)國產(chǎn)化替代是矽電公司一直以來的發(fā)展目標?！靶袠I(yè)中競爭對手雖然不多，但很多人不愿意做，因為這個東西太費勁?！蓖鮿倮寡裕?002年開始，我與另外3位合伙人啟動了晶圓測試探針臺的研發(fā)。原本看似簡單的東西，在進入研發(fā)后才發(fā)現(xiàn)其中涉及的細節(jié)與技術太多了。我們很多次都差點堅持不下來?！?/p>

“為了保障技術的不斷更新，公司的各項資源都會優(yōu)先保障技術研發(fā)，我們每年研發(fā)投入占總營收的9%左右?！蓖鮿倮硎?，經(jīng)過多年發(fā)展，矽電公司已逐漸掌握了包括高精度快響應大行程精密步進技術、定位精度協(xié)同控制、探針卡自動對針技術、晶圓自動上下片技術、基于智能算法的機器視覺、電磁兼容性設計技術等多項探針臺設備研發(fā)核心技術。同時，矽電公司可根據(jù)溫控、高壓、磁場及輻射等不同的環(huán)境需求，提供芯片檢測一條龍解決方案。截至2019年底，公司已取得國內外授權專利111項、軟件著作權36項。

得益于不斷開拓創(chuàng)新，矽電公司已成長為目前國內少數(shù)具備批量設計及生產(chǎn)各種規(guī)格探針臺、晶粒及晶圓表面檢查設備、晶粒拾取及挑選系統(tǒng)等晶粒級處理設備的企業(yè)。王勝利表示，隨著晶圓從6英寸到8英寸再到目前12英寸的發(fā)展，探針臺也經(jīng)歷了從手動、半自動到全自動的發(fā)展歷程。目前，在半導體領域，矽電公司相繼推出了對應不同集成電路領域的探針臺產(chǎn)品；在LED領域，矽電公司自行研發(fā)的倒裝芯片全自動探針臺、正裝芯片全自動探針臺以及全自動抽測探針臺組成了光電半導體系列探針臺產(chǎn)品。同時，矽電公司也應市場需求及時推出了VCSEL芯片探針測試系統(tǒng)及VCSEL模組測試系統(tǒng)、垂直紅外光電芯片測試機及全自動晶圓鏡檢機等產(chǎn)品，豐富了公司的產(chǎn)品線。